동진쎄미켐 EUV 포토레지스트 국산화 성공, 동진쎄미켐 주목 이유 (월)2021-12-20

동진쎄미켐 EUV

포토레지스트 

삼성라인 투입 ?

(월)2021-12-20

동진쎄미켐 화성공장 (전자신문)

드디어

동진쎄미켐 호재가

나오고 있다.

 

동진쎄미켐이 

반도체 초미세공정

필수소재로 꼽히는

EUV (극자외선)

포토레지스트

개발에 성공했다고

보도되었다.

 

동진쎄미켐, EUV 포토레지스트 국산화 (naver.com)

동진쎄미켐, EUV 포토레지스트 국산화

 

EUV 포토레지스트는

2019년 일본이

우리나라에 무역보복

을 위해 수출을 규제한

3대 품목 중 하나다.

 

그동안

기술 난이도가

높아서 전량 해외에

의존해온 제품인데

이번에 성공한 것.

 

EUV 노광기 작동 원리 (ASML)

동진쎄미켐은 

최근 삼성전자의

 EUV PR 신뢰성 시험

(퀄)을 통과한 것으로

 알려졌다고 한다.

 

  업계 관계자는

동진쎄미켐이

경기 화성 공장에서

EUV PR를 개발~

 

 이를

삼성전자 화성

EUV 라인에서

테스트해

최종 퀄을

받았다는 것.

 

회사측은

기술 수준이

높은 EUV PR를

양사 협력으로

(삼성전자+동진)

신속히 개발할 수

있었다고 밝혔다.

감광액으로도

 불리는 PR는 

반도체 노광 공정

 핵심 소재라고

하는데~

 

 웨이퍼 위에

 도포돼 

반도체 노광장비로

 빛을 쏘면 

 

화학 반응을

 일으켜 물성이

 변한다고 한다.

 

현상액으로

 필요한 부분만

남기고 PR를

씻어내면

미세 회로가

그려진다고 한다.

국내에서

 불화크립톤(KrF)과

 불화아르곤(ArF) 

공정용 PR는

 양산하고 있으나

 

 미세한 회로를 

그릴 수 있는

 EUV용 PR는

 전무했다는 것.

 

그만큼 

개발이 어려웠기

 때문인데~

 

그래서

그동안 국내에서

사용하는 EUV PR는

대부분 일본에서

수입했다고 한다.

동진쎄미켐은

 2019년 일본 수출 

규제 이후

 EUV PR 개발에

 박차를 가했으며~

 

올해 초

EUV PR

전문인력을

보강하며

기술 개발에 속도를

냈고 여기에 삼성이

 EUV 테스트 환경을

적극 지원해

 

현장에서

활용할 수 있는

수준의

품질 고도화를

이뤄냈다는 것.

 

업계 관계자는

2년 만에 EUV PR

개발에 성공한다는

자체가 상당히

어려운 일이라며~

 

삼성전자 협력이

뒷받침 된 성과

라고 평가

했다고~

하지만

삼성전자가 당장 

동진쎄미켐의

극자외선 PR을

생산 라인에 투입

할 지는 미지수~

 

통상적으로

퀄을 통과하면

양산라인에 투입

되게 되는데~

 

이 때문에

일각에서는 이르면

2022년 상반기 중

공급 가능성을

점치고 있는 것

같다.

 

EUV PR

퀄 통과에 대해

삼성전자와

동진쎄미켐 측은

말을 아꼈다고~

 

삼성전자 관계자는

협력사와의

퀄 통과는 확인해

줄 수 없다면서~

 

반도체 소부장

다변화를 위해

노력하고 있다고

전했다고 한다.

 

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삼성이 뒤에서 

EUV 개발을 지원

한 만큼 조만간

좋은 소식(?) 을

기대해 본다.